Strukturübertragung
Nassätzverfahren,
Trockenätzverfahren (RIE, IBE, RIBE)
Lift Off Technik
Materialien: Si, SiO
2, Metallschichten, Oxide
Anwendungsbeispiele: Planare Wellenleiter, Gräben und Fenster in Silizium
Beispiel
Planare Wellenleiter in Zusammenarbeit mit dem IPHT Jena (Institut für Photonische Technologien e.V.)
Planare Wellenleiter erlauben eine einfache und sehr präzise Fertigung von Faserführungsstrukturen zur Ankopplung von Glasfasern an integriert-optische Komponenten. In einem Projekt mit dem
IPHT Jena (Institut für Photonische Technologien e.V.) wurden spezielle Strukturierungs- und Ätztechniken zur Realisierung solcher Bauelemente erarbeitet. Mit Hilfe dieser Technologie können hohe Flankensteilheiten sowie geringe Rauheiten der Strukturkanten und geätzten Flächen erreicht werden.
