Dünnfilmabscheidung
Widerstands- bzw. Elektronenstrahlverdampfung
Sputtern (DC-, RF-Magnetron, Ion-Beam)
Laserablation (PLD)
PECVD
Materialien: NiCr, C, Pt, Ti, Au, Nb
Beispiel
Supraleitende Bauelemente
Für supraleitende Bauelemente wurde eine robuste Nb/Al –AlO
x/Nb Technologie entwickelt. Diese beinhaltet den Aufbau komplexer 9-11 lagiger Schichtsysteme bestehend aus verschiedenen Metallen, Metalloxiden und Siliziumoxiden, die mit verschiedenen Beschichtungsverfahren hergestellt werden.
Diese Schichtsysteme realisieren zum Beispiel das Sensorprinzip der sogenannten SQUIDs (Superconducting Interference Device).
