In welcher Form können sie die angebotenen Kalibriernormale liefern?
Im aktuellen Design stehen Chips aus Silizium für AFM-CD-Standards und Tip-characterizer oder aus Quarz für die nanoskaligen Strichbreiten- und Gitterperiodenstandards in den Abmessungen 8 x 8 mm2 zur Verfügung.
Zum besseren Handling bieten wir für letztere auch Objektträger an, in welche die Chips implementiert sind. Der Einbau in kundenspezifische Halterungen ist möglich.
Verarbeiten sie auch Einzelsubstrate und Sondergrößen?
Ja, in enger Zusammenarbeit mit unseren Kunden versuchen wir immer eine zugeschnittene Lösung zu finden, u.U. auch mit speziellen Adaptern und Sonderanfertigungen.
Wir benötigen für die Strukturierung von Wafern eine spezielle Maske. Wie können wir das realisieren?
Sie schicken uns ihr Design als Datenfile und wir fertigen die Maske nach ihren Daten, bevorzugt in Standardgröße 5 Zoll oder wir erstellen das Design nach ihren Angaben / Skizzen.
Welche Substratgrößen können sie standardmäßig prozessieren?
Je nach Anlage (Prozessschritt) bis 6 Zoll Blanks oder Wafer.
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